提高無塵室換氣率無法除大顆粒 ISO 14644-1說明取樣系統造成顆粒沉積損失,以及較低濃度,所以大於1 um顆粒依此法規做無塵等級分類不適合,顆粒越大,換氣率對其影響越不顯著—換氣帶不走大顆粒,只能帶走小顆粒ISO 14644-1說明大於1um濃度低難偵測。 點擊閱讀全文