描述
美國TSI AEROTRAK微粒子計數器/落塵計數器/遠距連續微粒子計數器
美國TSI微粒子計數器總代理 | 手持式 | 攜帶式 | 大流量100L | 遠距連續監測全系列產品供應
美國TSI AEROTRAK™微粒子計數器, 全系列產品符合ISO 21501-4的精準度嚴格規定, 出廠前由美國TSI採用PSLs校正, 追溯NIST, 是公認的校正標準粒子。
隨機器皆附原廠免費資料下載軟體, 可在電腦完整下載數據
機器有內建完整法規包含ISO14644-1:2015, EU GMP, FS209E 公制及英制等四種
可自行製作法規完整報告, 具Pass/Fail判別, 認證潔淨度等級標準
可選購即時監控軟體, 具即時數據, 趨勢變化, 警報設定, 歷史數據紀錄, 通訊格式為網路Ethernet (TCP/IP) Modbus RTU, 也可提供通訊協定, 便於客戶整合數據.
適合藥廠/半導體廠/OLED產業等高壓氣體CDA、N2、Ar等氣體其潔淨度量測。
TSI AeroTrak粒子計數器可使用AeroTrak 7950/7955減壓閥 (High Pressure Diffuser ) 配件測量高壓壓縮氣體系統中顆粒物污染，減壓後的氣體流量為0.1 CFM或1 CFM, 依據所使用的量測儀器流量而定. 由於粒子計數器無法對高壓氣體採樣，因此需要HPD配件降低壓縮氣體的壓力，實現壓縮氣體系統潔淨度水平的評估。
非常適合藥廠/半導體廠/OLED產業等高壓氣體CDA、N2、Ar等氣體其潔淨度量測。
特點和優勢
☑相容0.1 /1 cfm AeroTrak粒子計數器（包括遠程式和手持式）和AeroTrak 9001型潔淨室凝聚核粒子計數器(CPC)。
☑ 監測和測試ISO 8573-3 和 SEMI E49.8 標準
☑ 可將高達 120 psi (8.27 bar) 的氣壓降壓至近大氣壓
☑ 額定流量0.1 cfm (2.83 lpm)/流量1 cfm (28.3 lpm)
☑ 無需手動調整或校正
☑ 可使用潔淨乾燥空氣 (CDA)，氮氣 (N 2 ) 和氬氣 (Ar)
☑ 鈍化不鏽鋼外殼，可防止潔淨室化學品腐蝕
☑ 排氣過濾器可在高壓氣體源斷開時，保護擴散器免受污染
詳細規格
| 尺碼範圍 | 0.100至10.0米 |
| 粒子通道大小 | 0.10, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0um |
| 大小分辨率 | <15%@0.2UM (perISO21501-4) |
| 計數效率 | 50%在0.100mm;100% particles >0.15um(per
ISO21501-4 and JIS) |
| 濃度限制 | 100,000 particles/ft3(3500,000/m3) @10%
coincidence loss |
| 光源 | HeNe雷射（4年保固） |
| 歸零計數 | ＜1 count per 5 minutes(符合ISO 21501-4及JIS) |
| 流量 | 1.0 CFM(28.3L/min) |
| 真空來源 | External vacuum >15 in. (38.1 cm) of Hg |
| 校正 | 可追溯NIST |
| 校正頻率 | 建議每年一次 |
| 採樣方式 | 手動或自動 |
| 通訊方式 | Modbus@over RS-485, Modbus@ over Ethernet,
4-ch CEMS pulse, serial RS-232 |
| 數據儲存 | 2,000個樣品紀錄 |
| 狀態指示燈 | 電源、服務、數據、警報輸出 |
| 軟體 | FMS 5 |
| 外表皮 | 不鏽鋼 |
| 尺寸及重量 (H x W x D) | 5.25 *5.0*17.9 (13.4 cm* 12.7 cm*45.6 cm)，5.23kg |
| 電源 | 110 到 240 VAC通用電源 |
| 法規 | 符合ISO21501-4、CE、JISB9921標準 |
| 保固 | 非人為兩年保固，雷射0.1umm4年保固，可延長保固 |
| 運轉範圍 | 50o to 95oF(10o to 35oC)，,20%~95% noncondensing |
| 儲存範圍 | 32 o to 122 o F(0 o to 50 o C), 最高可達98% RH noncondensing |
| 隨附配件 | 快速入門指南、操作手冊、電源線、電池、USB線、TrakPro Lite軟體 |
| 選購配件 | 等速進樣口、淨化過濾器、採樣管、真空管 |
應用範圍
