SURF-CAL 尺寸標準微粒子

Surf-Cal 尺寸標準微粒用於半導體工業的掃描表面監測系統(SISS)的校正，滿足SEMI 標準規則要求，所提供的微粒尺寸包括:半導體國際技術藍圖(ITRS)定義關鍵的尺寸節點大小。

Surf-Cal標準品可用來簡化工廠內校正晶片的準備工作，可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校正點大小一致。

將Surf-Cal 系列NIST 溯源的聚苯乙烯微粒，置於特別選定的晶片上，就可以執行定期校正檢查，並可將自己的掃描器與其他的掃描器進行比對，也可以在生產過程中的關鍵階段對SSIS 系統進行性能評估。

描述

Surf-Cal 尺寸標準微粒參數:

Surf-Cal標準品可用來簡化工廠內校正晶片的準備工作，可提供的微粒尺寸與儀器生產商要求的校正點大小一致。

將Surf-Cal 系列NIST 溯源的聚苯乙烯微粒，置於特別選定的晶片上，就可以執行定期校正檢查，並可將自己的掃描器與其他的掃描器進行比對，也可以在生產過程中的關鍵階段對SSIS 系統進行性能評估。

這一系列標準品懸浮於過濾過的去離子水中，濃度3 x10 8個微粒/ mL、包裝單位：50ml/瓶裝。1.112um及以下粒徑還提供濃度為10 10個微粒/mL 的濃度產品，主要用於微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術輔助的領域。

測量方法:

為了確保能直接溯源至NIST，這些產品獲得認證的直徑是:

認證證書中標明的不確定度值是:

Surf-Cal系列微球產品列表：

SURF-CAL 尺寸標準微粒子