描述
ISO-14644-17中正式發佈5um以上大顆粒管理規定
歐洲企業(BMW、BOSH、ASML、VW)等已經開始運用管理大型粒子堆積物的污染管理規範。
持續監測“落下/沉積顆粒”附著在無塵室廠房或機器及材料或地面等等的異物APMON – 感測器
ISO14644-17 : 2021-顆粒沉積率的應用
監控即時落塵產生:量化製造環境和產品直接沉積的風險
概述背景:
隨著每個行業對清潔製造環境的需求,顆粒污染仍然是許多公司面臨的永恆挑戰。
在顆粒物污染中,“顆粒物堆積”造成的污染, 無法單純從量測空氣潔淨度(ISO14644-1)和微觀分析/成分分析問題得到完整解決,為了降低這種污染風險,我們需要數字話管理來識別顆粒何時掉落和沈積。
關於產品概念
APMON-優勢-能執行大面積監測
APMON 以至少 5 分鐘的間隔測量,因人為或系統活動而沉積的大於 15 µm 的顆粒。
即時監控導致粉塵產生的“時間”和“數量”,並量化造成污染的各種生產過程的行為。
測量範圍 :15-1000µm
測量原理 :
雷射激發光,通過傳感器上方的六道鏡面,並在每個測量間隔,計算累積顆粒的數量和大小,將數據隨時間紀錄和分析顆粒大小及數量累績。
APMON 即時監控粒子沉積增加的時間點,可以檢測人員、廠房機器,系統運作和清潔活動等發塵源的“不適當活動”,紀錄並量化塵埃產生量和粒度分佈。
分析評估下落顆粒的粒度分佈,努力提高生產線的清潔度,可以將沉積在APMON上的顆粒繪製成顆粒尺寸分佈圖。估計15~30μm是由人體皮膚碎片和纖維素碎片引起的,100μm以上是由衣服纖維引起的。
通過換氣率改善,雖然可以部分改善30μm以下顆粒數量,但為了達到目標的清潔度,
應優先通過對製造現場的“出入手續”和“活動限制”進行改善,減少發塵來源,這才是一條終結根本問題的最佳路徑。
如果檢測到大於 50 µm 的粗顆粒,就要“優化清潔”,清潔製造環境。
如果超過該允許值,則可以通過對相關的表面清潔,來確保無塵室的環境是一個可允許的範圍