無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同,會有對應出不同的量測點數、時間和體積
Fed Std 209E & ISO 14644-1 量測對照表
無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同,會有對應出不同的量測點數、時間和體積
下方以面積50平方公尺,不同等級為例子:
※若機器最小量測尺寸只有0.3μm,適合以下列表格作為量測點數、時間和體積的對照
Fed Std 209E | ||||
等級 |
量測面積 |
所需量測點數 |
所需量測粒徑 |
所需量測體積 |
Class 100 |
50平方公尺 |
22點 |
0.3、0.5 |
5.66公升 |
Class 1000 |
50平方公尺 |
18點 |
0.5、5.0 |
81.126公升 |
Class 10000 |
50平方公尺 |
6點 |
0.5、5.0 |
8.49公升 |
Class 100000 |
50平方公尺 |
2點 |
0.5、5.0 |
2.83公升 |
ISO 14644-1:2015 |
||||
等級 |
量測面積 |
所需量測點數 |
所需量測粒徑 |
所需量測體積 |
Class 5 |
50平方公尺 |
10點 |
0.3、0.5、1.0 |
28.3公升 |
Class 6 |
50平方公尺 |
10點 |
0.3、0.5、1.0、5.0 |
68.3916公升 |
Class 7 |
50平方公尺 |
10點 |
0.5、1.0、5.0 |
28.3公升 |
Class 8 |
50平方公尺 |
10點 |
0.5、1.0、5.0 |
28.3公升 |
※若機器最小量測尺寸有0.1μm,適合以下列表格作為量測點數、時間和體積的對照
Fed Std 209E |
||||
等級 |
量測面積 |
所需量測點數 |
所需量測粒徑 |
所需量測體積 |
Class 100 |
50平方公尺 |
22點 |
0.2、0.3、0.5 |
5.66公升 |
Class 1000 |
50平方公尺 |
18點 |
0.5、5.0 |
81.126公升 |
Class 10000 |
50平方公尺 |
6點 |
0.5、5.0 |
8.49公升 |
Class 100000 |
50平方公尺 |
2點 |
0.5、5.0 |
2.83公升 |
ISO 14644-1:2015 |
||||
等級 |
量測面積 |
所需量測點數 |
所需量測粒徑 |
所需量測體積 |
Class 5 |
50平方公尺 |
10點 |
0.1、0.2、0.3、0.5、1.0 |
28.3公升 |
Class 6 |
50平方公尺 |
10點 |
0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、5.0 |
68.3916公升 |
Class 7 |
50平方公尺 |
10點 |
0.5、1.0、5.0 |
28.3公升 |
Class 8 |
50平方公尺 |
10點 |
0.5、1.0、5.0 |
28.3公升 |
***工業界選擇量測儀器時, 因為預算及成本考量, 有時無法負擔0.1μm這樣精密儀器的費用, 所以會退而求其次購買0.3μm的機器.
制表者 : 拓生科技 蔡良 0910932133
引用 : TSI AeroTrak 9310及9110內建無塵室等級判別法規