無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同,會有對應出不同的量測點數、時間和體積

無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同,會有對應出不同的量測點數、時間和體積

Fed Std 209E & ISO 14644-1 量測對照表

無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同,會有對應出不同的量測點數時間和體積

下方以面積50平方公尺不同等級為例子

※若機器最小量測尺寸只有0.3μm,適合以下列表格作為量測點數、時間和體積的對照

Fed Std 209E

等級

量測面積

所需量測點數

所需量測粒徑

所需量測體積

Class 100

50平方公尺

22點

0.3、0.5

5.66公升

Class 1000

50平方公尺

18點

0.5、5.0

81.126公升

Class 10000

50平方公尺

6點

0.5、5.0

8.49公升

Class 100000

50平方公尺

2點

0.5、5.0

2.83公升

ISO 14644-1:2015

等級

量測面積

所需量測點數

所需量測粒徑

所需量測體積

Class 5

50平方公尺

10點

0.3、0.5、1.0

28.3公升

Class 6

50平方公尺

10點

0.3、0.5、1.0、5.0

68.3916公升

Class 7

50平方公尺

10點

0.5、1.0、5.0

28.3公升

Class 8

50平方公尺

10點

0.5、1.0、5.0

28.3公升


※若機器最小量測尺寸有0.1μm,適合以下列表格作為量測點數、時間和體積的對照

Fed Std 209E

等級

量測面積

所需量測點數

所需量測粒徑

所需量測體積

Class 100

50平方公尺

22點

0.2、0.3、0.5

5.66公升

Class 1000

50平方公尺

18點

0.5、5.0

81.126公升

Class 10000

50平方公尺

6點

0.5、5.0

8.49公升

Class 100000

50平方公尺

2點

0.5、5.0

2.83公升

ISO 14644-1:2015

等級

量測面積

所需量測點數

所需量測粒徑

所需量測體積

Class 5

50平方公尺

10點

0.1、0.2、0.3、0.5、1.0

28.3公升

Class 6

50平方公尺

10點

0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、5.0

68.3916公升

Class 7

50平方公尺

10點

0.5、1.0、5.0

28.3公升

Class 8

50平方公尺

10點

0.5、1.0、5.0

28.3公升

*** ISO 14644-1 : 2015標準而言, ISO Class (Class1000)需要量測0.1μm尺寸的顆粒

***工業界選擇量測儀器時, 因為預算及成本考量, 有時無法負擔0.1μm這樣精密儀器的費用, 所以會退而求其次購買0.3μm的機器. 

制表者 : 拓生科技 蔡良 0910932133

引用 : TSI AeroTrak 9310及9110內建無塵室等級判別法規