Fed Std 209E & ISO 14644-1 量測對照表
無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同,會有對應出不同的量測點數、時間和體積
下方以面積50平方公尺,不同等級為例子:
※若機器最小量測尺寸只有0.3μm,適合以下列表格作為量測點數、時間和體積的對照
Fed Std 209E
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等級
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量測面積
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所需量測點數
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所需量測粒徑
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所需量測體積
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Class 100
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50平方公尺
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22點
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0.3、0.5
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5.66公升
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Class 1000
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50平方公尺
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18點
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0.5、5.0
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81.126公升
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Class 10000
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50平方公尺
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6點
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0.5、5.0
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8.49公升
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Class 100000
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50平方公尺
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2點
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0.5、5.0
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2.83公升
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ISO 14644-1:2015
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等級
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量測面積
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所需量測點數
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所需量測粒徑
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所需量測體積
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Class 5
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50平方公尺
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10點
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0.3、0.5、1.0
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28.3公升
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Class 6
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50平方公尺
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10點
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0.3、0.5、1.0、5.0
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68.3916公升
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Class 7
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50平方公尺
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10點
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0.5、1.0、5.0
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28.3公升
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Class 8
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50平方公尺
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10點
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0.5、1.0、5.0
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28.3公升
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※若機器最小量測尺寸有0.1μm,適合以下列表格作為量測點數、時間和體積的對照
Fed Std 209E
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等級
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量測面積
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所需量測點數
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所需量測粒徑
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所需量測體積
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Class 100
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50平方公尺
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22點
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0.2、0.3、0.5
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5.66公升
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Class 1000
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50平方公尺
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18點
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0.5、5.0
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81.126公升
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Class 10000
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50平方公尺
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6點
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0.5、5.0
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8.49公升
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Class 100000
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50平方公尺
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2點
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0.5、5.0
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2.83公升
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ISO 14644-1:2015
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等級
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量測面積
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所需量測點數
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所需量測粒徑
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所需量測體積
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Class 5
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50平方公尺
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10點
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0.1、0.2、0.3、0.5、1.0
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28.3公升
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Class 6
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50平方公尺
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10點
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0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、5.0
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68.3916公升
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Class 7
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50平方公尺
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10點
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0.5、1.0、5.0
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28.3公升
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Class 8
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50平方公尺
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10點
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0.5、1.0、5.0
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28.3公升
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*工業量測有其儀器預算及成本考量,0.1μm/0.3μm的微粒子計數器價差約2-3倍之故,工廠慣用的機器為0.3μm的機器
制表者 : 拓生科技 蔡良 0910932133
引用 : TSI AeroTrak 9310及9110內建無塵室等級判別法規
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