ISO14644-1:2015 法規最新修訂內容

美國聯邦標準 Federal STD-209 已長時間被使用， 其定義為一立方英呎(1ft3) 中的 0.5μm 以上的粒子數目。目前，ISO 14644-1 已成為世界上唯一評估潔淨室等級的國際標準.

ISO 14644-1 於 1999 年發表， 在 2015 年 12 月進行了 16 年來的第一次修正，修正後為ISO 14644-1:2015

ISO 14644-1:2015為最新潔淨室空氣潔淨度標準

美國聯邦標準 Federal STD-209 已長時間被使用， 其定義為一立方英呎(1ft³) 中的 0.5μm 以上的粒子數目。目前，ISO 14644-1 已成為世界上唯一評估潔淨室等級的國際標準.

ISO 14644-1 於 1999 年發表， 在 2015 年 12 月進行了 16 年來的第一次修正，修正後為ISO 14644-1:2015

●低濃度微粒粒子上限濃度的廢除

 

ISO 14644-1:2015 潔淨度等級之上限濃度(個/m³)

潔淨室等級		上限濃度(個/m3)
ISO14644-1	Fed. Std-209E	0.1 μm	0.2 μm	0.3 μm	0.5 μm	1.0 μm	5.0 μm
Class 1		10	廢除
Class 2		100	24	10	廢除
Class 3	Class 1	1,000	237	102	35	廢除
Class 4	Class 10	10,000	2,370	1,020	352	83
Class 5	Class 100	100,000	23,700	10,200	3,520	832	廢除
Class 6	Class 1,000	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293
Class 7	Class 10,000				352,000	83,200	2,930
Class 8	Class100,000				3,520,000	832,000	29,300
Class 9					35,200,000	8,320,000	293,000

 

 

量點的數量。

●指定測量次數刪除