無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同，會有對應出不同的量測點數、時間和體積

無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同，會有對應出不同的量測點數、時間和體積

Fed Std 209E & ISO 14644-1 量測對照表

無塵室等級判別 : 根據無塵室的體積、規劃等級的不同，會有對應出不同的量測點數、時間和體積

根據ISO 14644-1法規計算取樣體積的公式如下 :

其中，

• V_s，各位置之最小空氣取樣量(公升)。至少2公升，且同一區域每次取樣量應一致
• 20，在濃度限制下可被計數之粒子數
• C_{n, m}，考量粒徑在該等級之濃度限制(粒子數/m³ )
• 1000，體積單位換算
• 每次最小取樣時間為1 min

根據ISO 14644-1標準，計算最小取樣體積時，除了考慮顆粒尺寸的最大允許值，還需要考慮最低取樣體積和時間限制。具體來說，取樣必須至少持續1分鐘，且最小取樣體積不得小於2升。

落塵測試用的儀器主要分為「手持式」和「桌上型」兩種，各有其特點和適用情境：

• 手持式落塵機：例如 TSI 9303手持式微粒子計數器
  • 流率：通常為0.1 CFM (2.83 l/min)。
  • 優點：輕巧便攜，適合在空間有限的地方進行測試。
  • 缺點：由於流率較小，需要特別注意測試條件和時間，以確保達到規範要求。
• 桌上型落塵機：例如 TSI A100-31攜帶式微粒子計數器
  • 流率：通常為1 CFM (28.3 l/min)。
  • 優點：流率較大，測試較為穩定，適合長時間和大體積空氣取樣。
  • 缺點：相對較笨重，不適合頻繁移動或狹小空間使用。

測量0.5 μm顆粒時的應用示例

ISO 8環境需求：

• 根據計算：Vs = (20 / 3,520,000) × 1000 ≒ 0.0057 l
• 手持式落塵機在不到1分鐘的時間即可達到這個量，但根據規範，取樣量至少要2公升且時間需超過1分鐘。因此需測試滿1分鐘，取樣量達到2.86公升。

ISO 5環境需求：

• 根據計算：Vs = (20 / 3,520) × 1000 ≒ 5.7 l > 2.86 l
• 手持式落塵機取樣1分鐘不足以達到最低取樣量，需要延長取樣時間至2分鐘，使取樣量達到5.72公升，符合規範要求。

PIC/S GMP (EU GMP) 規範：

• 在A級區域（相當於ISO 4.8），要求至少採樣1立方米（1000公升），這比ISO標準更為嚴格。
• 手持式儀器因流率小，不可能連續取樣5個小時以上，因此建議使用桌上型落塵機（流率28.6 l/min），每次取樣35分鐘即可達到規範要求。

重要變更

根據2008年版的PIC/S規範，已去除了2003年版中對B級區與C級區取樣1立方米的建議。這使得在這些區域使用手持式儀器更加靈活。

下方以面積50平方公尺，不同等級為例子：

※若機器最小量測尺寸只有0.3μm，適合以下列表格作為量測點數、時間和體積的對照

Fed Std 209E
等級	量測面積	所需量測點數	所需量測粒徑	所需量測體積
Class 100	50平方公尺	22點	0.3、0.5	5.66公升
Class 1000	50平方公尺	18點	0.5、5.0	81.126公升
Class 10000	50平方公尺	6點	0.5、5.0	8.49公升
Class 100000	50平方公尺	2點	0.5、5.0	2.83公升

ISO 14644-1:2015
等級	量測面積	所需量測點數	所需量測粒徑	所需量測體積
Class 5	50平方公尺	10點	0.3、0.5、1.0	28.3公升
Class 6	50平方公尺	10點	0.3、0.5、1.0、5.0	68.3916公升
Class 7	50平方公尺	10點	0.5、1.0、5.0	28.3公升
Class 8	50平方公尺	10點	0.5、1.0、5.0	28.3公升

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※若機器最小量測尺寸有0.1μm，適合以下列表格作為量測點數、時間和體積的對照

Fed Std 209E
等級	量測面積	所需量測點數	所需量測粒徑	所需量測體積
Class 100	50平方公尺	22點	0.2、0.3、0.5	5.66公升
Class 1000	50平方公尺	18點	0.5、5.0	81.126公升
Class 10000	50平方公尺	6點	0.5、5.0	8.49公升
Class 100000	50平方公尺	2點	0.5、5.0	2.83公升

ISO 14644-1:2015
等級	量測面積	所需量測點數	所需量測粒徑	所需量測體積
Class 5	50平方公尺	10點	0.1、0.2、0.3、0.5、1.0	28.3公升
Class 6	50平方公尺	10點	0.1、0.2、0.3、0.5、1.0、5.0	68.3916公升
Class 7	50平方公尺	10點	0.5、1.0、5.0	28.3公升
Class 8	50平方公尺	10點	0.5、1.0、5.0	28.3公升

***工業界選擇量測儀器時, 因為預算及成本考量, 有時無法負擔0.1μm這樣精密儀器的費用, 所以會退而求其次購買0.3μm的機器. 

制表者 : 拓生科技 蔡良 0910932133

引用 : TSI AeroTrak 9310及9110內建無塵室等級判別法規