ISO-14644-17中正式發佈5um以上粒子異物管理規定
歐洲企業(BMW、BOSH、ASML、VW)等已經開始運用管理該粒子堆積物的污染管理。
ISO-14644-17中正式發佈5um以上粒子異物管理規定
歐洲企業(BMW、BOSH、ASML、VW)等已經開始運用管理該粒子堆積物的污染管理。
引起電子部件重大品質問題的關鍵粒子尺寸爲5um以上
污染粒子或是有疑慮的顆粒, 必須區分其差異, 隨之地解決方法也不同。
有效監測及管理大型顆粒—表面微粒子計數器(SURFACE PARTICLE COUNTER, SPC)