提高無塵室換氣率無法除大顆粒
ISO 14644-1說明取樣系統造成顆粒沉積損失, 以及較低濃度, 所以大於1 um顆粒依此法規做無塵等級分類不適合
顆粒越大, 換氣率對其影響越不顯著—換氣帶不走大顆粒 ,只能帶走小顆粒
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大型粒子的飛散軌跡的研究發現, 顆粒大小, 相對於在空氣中飛行距離而言, 顆粒越小飛行越遠, 顆粒越大飛行越近. 所以大型顆粒產生的來源, 一般都是機械運作, 震動, 衣服, 操作者自身, 或是衣服等等因素造成, 而且會掉在發塵源本身附近, 而小顆粒可能來源是各種不同來源的顆粒, 隨著氣流的吹動, 擾動, 被攜帶到無塵室的各個角落, 通常是顆粒性的非金屬性質來源, 而這些小顆粒雖然可以利用現行的ISO 14644-1法規, 以及Air Particle Counter, APC 做無塵等級的分類, 但是大顆粒現行的量測工具, 無法有效採樣, 在風險管理上, 一直是個迷, 無法掌握, 也無法管理. 不過在現行ISO 14644-17:2021已經公布了表面顆粒沉降標準(Particle Deposition Rate, PDR)的管理要求, 要求各類無塵室場所, 訂點其顆粒沉降標準管制(Particle Deposition Rate Limit, PDRL). 要實現此管理規範, 需要表面微粒子計數器(Surface Particle Counter, SPC)才可以實現
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