即時監測表面顆粒沉積率(Particle Deposition Rate, PDR)

使用“PDR”進行污染風險評估
國際標準 ISO 14644 為無塵室等級和管理及產品的製造環境,提供了各種要求和指南。

2021 年為了適應不斷發展的製造業,一種新的清潔概念從歐洲標準化到世界各地。

為了防止異物附著在產品上,產品周圍的表面和與其直接接觸的表面必須保持清潔。

這意味著要防止“只有兩條污染途徑”“顆粒沉積”和“接觸過渡”引起的異物粘附。

ISO 14644-9 提供了“SCP”的分類,表示為“SCP 等級”,用“SCP”量化表面的清潔度,如下表所示

該表面的清潔度由以下公式表示為“SCP:表面清潔度”。

SCPD = ND / a
SCPD:粒徑為 D μm 或更大的顆粒的表面清潔度 [Nop / m2]
ND:粒徑為Dμm或更大的表面顆粒數[Nop]
a: 表面積 [m2]

建立顆粒沉積率(Particle Deposition Rate, PDR)的有效數據,經過確定濃度(數量/面積)的相對關係,有效建立起管制濃度(Particle Deposition Rate Limit, PDRL),如果超過該允許值,則可以通過對相關的表面清潔,來確保無塵室的環境是一個可允許的範圍.