表面微粒子計數器(Surface Particle Counter, SPC)

了解大型粒子的存在---由於5um以上的粒子,無法從坊間的粒子計數器(air particle couter, APC)檢出, 對於無塵室潔淨度的誤解於是從這裡開始

根據ISO14644-1對無塵室等級的規範-它針對0.1um~5um大小的顆粒做監控, 也因此客戶以為在高等級的無塵室中, 既然量不到, 則誤認為大於5um的污染粒子應該也很少吧!!

真實的狀況是,在高等級無塵室中,即使空氣中極為乾淨,大型粒子依然大量存在各個表面。

大型粒子無法經由換氣或濾網除去,只會因重力自然落下。容易沈積的大型粒子,只能透過有效的清掃來排除。

定義關鍵粒子大小與濃度開始

 

ISO14644-1:規範專注於小顆粒

ISO14644-9:規範專注於表面大顆粒

粒子不分大小一律完全排除,這樣的代價極高,也不必要,

建議先定義有風險的「粒子尺寸」與「容許濃度」

 

表面微粒子計數器 SPC (Surface Particle Counter)的第一步就是定義出·專屬於你的合理規格

 

大型顆粒飛行軌跡通常在污染產生源附近

換氣率提高, 並無法改善大型顆粒數量

PartSens 表面微粒子計數器(SPC) : 能直接量取表面潔淨度的監控裝置

• 數秒內所有表面的粒子直徑數量,統計成報表。
• 可區別粒子種類 : 金屬,非金屬,纖維,以不同顏色表示。
• 専用取樣墊片,直接取樣,直接分析.
• 符合ISO14644-1:無塵室潔淨度等級分類標準(0.1um-5 um)
• ISO14644-9:表面潔淨度SPC分級標準(0.05um-500 um)
• ISO14644-13:表面清潔以達到顆粒和化學等分類潔淨度標準
• VDA19.2:汽車零件清潔度測試方法

APMON 即時落塵沉積監測儀 : 「監控粒子的動態變化」詳記錄粒子與大小。把製造環境中的粒子堆積風險,用數據化來管理。

• 即時監測表面顆粒沉積率(Particle Deposition Rate, PDR)
• 建立顆粒沉積率管制標準(Particle Deposition Rate Limit, PDRL)作為表面潔淨度
• 即時監控紀錄粒子落下發生的高峰時間,進一步比對發生当下的人、事、物行為,找出引發落塵的「程序」「行為」。
• ISO等國際標準,已經要求用PDR(數據化)作為落下粒子的有效管控標準。
• 在生產區域佈建APMON,可監控15um大小上的粒子堆積(最短採樣區間:五分鐘), 具軟體可顯示沉積趨勢及顆粒大小變化
  • 可透過藍芽、或有線網路做遠端監控
  • ISO14644-17 : 2021-顆粒沉積率的應用.計算特定表面所需的顆粒遮蔽率並降低沉積顆粒的風險。
    計算特定表面所需的顆粒遮蔽率並降低沉積顆粒的風險。

日本ＩＮＴＥＣＨＮＯ公司領先技術, 針對不同原理之表面微粒子計數器（Surface Particle Counter, SPC), 所依據的14644之規範不同